MOCVD 又名：金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

MOCVD概述

　　著眼點(diǎn)：選擇特殊的反應(yīng)，來(lái)降低反應(yīng)溫度。
　　原料：金屬的烷基，芳基，氫基，乙酰丙酮基衍生物。
　　MOCVD廣泛被關(guān)注與LED的興起有關(guān)。在藍(lán)光LED芯片的生長(zhǎng)中，一般都是使用MOCVD作為生長(zhǎng)工具。這是由藍(lán)光LED芯片的制作工藝特性決定的。
　　以AIXTRON公司的MOCVD為例，主要是由反應(yīng)室，傳送室，射頻源以及氣路部分構(gòu)成。
　　它是利用金屬有機(jī)源和參與反應(yīng)的進(jìn)程氣體在一個(gè)低壓高溫的反應(yīng)室中進(jìn)行淀積，以生長(zhǎng)出具有復(fù)雜摻雜層的芯片。
　　MOCVD設(shè)備昂貴，配套設(shè)施以及所需原材料也昂貴無(wú)比。確實(shí)是燒錢的機(jī)器。
　　在出現(xiàn)MOCVD之前，MBE算是最厲害的燒錢機(jī)器，以前大家都叫MBE為Money Burn Equipment。現(xiàn)在應(yīng)該讓給MOCVD了。
　　世界上最大的兩家MOCVD生產(chǎn)商為德國(guó)的AIXTRON和美國(guó)的VEECO。AIXTRON收購(gòu)了Thomas，VEECO收購(gòu)了Emcore。現(xiàn)在是這兩家獨(dú)大。日系的MOCVD一般只在日本本土占有市場(chǎng)。