熱流傳感器

1　熱阻式熱流傳感器（熱電堆式熱流傳感器）

　　熱阻式（熱電堆式熱流傳感器或稱溫度梯度型熱流傳感器）是應(yīng)用最普遍的一類熱流傳感器。這類傳感器的原理是：當有熱流通過熱流傳感器時，在傳感器的熱阻層上產(chǎn)生了溫度梯度，根據(jù)付立葉定律就可以得到通過傳感器的熱流密度，設(shè)熱流矢量方向是與等溫面垂直：

　　q=dQ/ds=-λdT/dX

　　式中：q為熱流密度；dQ為通過等溫面上微小面積，dS流過的熱量；dT/dX為垂直與等溫面方向的溫度梯度；λ為材料的導(dǎo)熱系數(shù)；如果溫度為T和T+ΔT的兩個等溫面平行時：

　　q=-λΔT/ΔX

　　式中：ΔT為兩等溫面的溫差；ΔX為兩等溫面之間的距離。

　　只要知道熱阻層的厚度ΔX，導(dǎo)熱系數(shù)λ，通過測到的溫差ΔT就可以知道通過的熱流密度。當用一對熱電偶測量溫差ΔT時，這個溫差是與熱流密度成正比的，溫差的數(shù)值也與熱電偶產(chǎn)生的電動勢的大小成正比例，因此測出溫差熱電勢就可以反映熱流密度的大?。?/p>

　　q=Kr·E

　　式中：Kr為熱流傳感器的分辨率，W/(㎡·μv)；E為測頭溫差熱電勢；

　　分辨率Kr是熱阻式熱流計的重要性能參數(shù)，其數(shù)值的大小反映了熱流傳感器的靈敏度。Kr數(shù)值越小則熱流傳感器越靈敏，其倒數(shù)被稱為熱流傳感器的靈敏度Ks（Ks=1/Kr）。

　　為了提高熱流傳感器的靈敏度，需要加大傳感器的輸出信號，因此就需要將眾多的熱電偶串聯(lián)起來形成熱電堆，這樣測量的熱阻層兩邊的溫度信號是串連的所有熱電偶信號的逐個疊加，信號大能反映多個信號的平均特性。

　　熱電堆是熱阻式熱流傳感器的核心元件，也是其他輻射式熱流傳感器的核心元件。

2　熱電堆（熱阻式熱流傳感器）的發(fā)展進程

　　自德國的Henky教授在1914年制造出第一個熱流傳感器以來：

　　第1階段：線繞式熱流傳感器

　　上世紀20年代開始，在康銅絲或其它材料的熱電偶絲上利用電鍍工藝制造熱電堆。

　　典型結(jié)構(gòu)：用金屬絲（如康銅）先在眾多的絕緣板條上繞線圈，然后將此金屬絲線圈（如康銅）的一半鍍上另一種金屬（如銅），在絕緣板條的兩面形成眾多串聯(lián)的熱電偶一一即串聯(lián)的熱電偶線圈——銅與康銅的交接點形成熱電偶的冷、熱節(jié)點（熱電堆）。多個熱電堆再焊接串聯(lián)或并聯(lián)后，平鋪粘結(jié)在兩平面絕緣保護硅膠板間形成熱流傳感器。

　　第2階段：半導(dǎo)體式熱流傳感器

　　上世紀60年代末開始，利用半導(dǎo)體工藝制造熱電堆。

　　典型結(jié)構(gòu)：在硅片上用半導(dǎo)體工藝制造熱電堆，一般使用環(huán)氧樹脂封裝保護。

　　第3階段：超?。ū∧な剑崃鱾鞲衅?/p>

　　上世紀90年代中開始，利用大規(guī)模集成電路制造工藝：濺射或激光熔刻技術(shù)制造熱電堆。

　　典型結(jié)構(gòu)：使用濺射和激光熔刻技術(shù)制造熱電堆，一般使用聚酰亞胺薄膜封裝保護。

3　熱流傳感器的主要技術(shù)指標

　　靈敏度Ks：或分辨率Kr（Kr=1/Ks）。在適用的傳感器尺寸下越高越好，可以確保測量精度和適應(yīng)眾多的測量需要。

　　熱流量程和工作溫度范圍：越寬越好。

　　精度：指熱流傳感器的線性。一般線繞式在5%～10%，半導(dǎo)體式和薄膜式在2%～5%。

　　熱阻抗：越小約好。

　　響應(yīng)時間：越快越好。短的數(shù)據(jù)穩(wěn)定時間和瞬態(tài)熱流密度的測量。

　　厚度：越薄越好?？梢杂行б种骗h(huán)境變化對測量精度的影響。

　　柔韌性：柔性的傳感器可以有效抑制因接觸不良引起的測量誤差。

　　波長響應(yīng)：僅輻射熱流，決定了測量輻射熱流密度的類型如紅外、陽光輻射或總輻射（紅外+可見光）。

4　熱流傳感器測量精度的影響因素

　　熱流傳感器與被測物粘貼緊密程度對熱流測量精度的影響：熱流傳感器與被測物粘貼的緊密程度，對熱流的穩(wěn)定時間有著非常大的影響。粘貼越緊密，穩(wěn)定越快，測量偏差越??；反之，測量偏差越大。因此，在瞬態(tài)熱流傳感器的使用過程中，要盡量保證熱流熱流傳感器能夠緊密地粘貼被測物體，這樣才能減少測量時間，提高測量精度。導(dǎo)熱膠（導(dǎo)熱硅脂）的應(yīng)用，為解決這個問題提供了非常好的條件。

　　熱流傳感器厚度對熱流測量精度的影響：

　　當熱流傳感器厚度為0.1mm時，被測物表面熱流穩(wěn)定非常快，從開始到穩(wěn)定只用了約0.5s的時間，通過熱流傳感器的熱流值與實際值相差2.92%。當熱流傳感器厚度增加到1mm時，穩(wěn)定時間達到了8s，為原來的16倍，熱流值的偏差達到了6.26%。這主要是由于熱流傳感器厚度的增加，加大了熱流傳感器引入的熱阻，使通過熱流傳感器的熱流值產(chǎn)生了較大偏移。

　　熱流傳感器邊長對熱流測量精度的影響：

　　熱流傳感器邊長的改變并沒有給熱流的穩(wěn)定時間造成太大影響，卻給穩(wěn)定值帶來較大的偏差。邊長從5mm變成10mm時，穩(wěn)定熱流值減小了8.4%，與實際值相差6.51%；邊長從10mm變?yōu)?0mm時，熱流減小了4.3%，與實際值相差1.94%；邊長從20mm變?yōu)?0mm時，熱流僅僅減小了0.4%，已經(jīng)和真實值基本重合。這說明，熱流傳感器邊長越長，穩(wěn)定值越準確，且邊長一定存在著一個最優(yōu)值。這個最優(yōu)值既能保證熱流傳感器盡可能小，又能保證所測熱流的準確性。從本文的計算來看，這個最優(yōu)值約為20mm。當被測物表面近似認為半無限大時，20mm可能是測量精度和熱流傳感器尺寸的最佳結(jié)合點。

　　（上述內(nèi)容摘自《熱流計測量精度影響因素的數(shù)值分析》，節(jié)能，2005年第2期）

5　熱流傳感器的檢定

　　也稱熱流傳感器的標定或校準。

　　熱流傳感器計作為熱流計的關(guān)鍵性一次敏感元件，其測量結(jié)果的準確性是熱流計可否信賴的關(guān)鍵。

　　因此熱流傳感器在出廠前或使用一段時間后都要進行標定。

　　另外，熱流傳感器在使用時，常常是粘貼在被測物體和表面或者埋沒在被測物體的內(nèi)部，這都會影響被測物體原有的傳熱狀況，為了對這個影響有一個準確的估計，就必須知道熱流傳感器自身的熱阻等性能，這也要在標定過程中加以確定。

　　絕對法校準

　　保護熱板法是國際上最通用的測量絕熱材料導(dǎo)熱系數(shù)的標準方法之一。

　　美國、歐盟等都制訂有保護熱板法測量絕熱材料導(dǎo)熱系數(shù)的國家標準，國際標準化組織ISO/TC163也已確認此法為國際標準方法之一。也是現(xiàn)在熱流傳感器校準最為準確的方法。

　　我國相應(yīng)的標準號為GB/T10294（等效國際標準化組織ISO/DIS8302）

　　比較法校準

　　用比較法標定熱流傳感器也與用比較法測定絕熱材料的導(dǎo)熱系數(shù)相類似。把待標定的熱流傳感器與經(jīng)絕對法標定的作為標準的熱流傳感器以及絕熱材料做成的緩沖塊一起，放在表面溫度保持穩(wěn)定均勻的熱板和冷板之間。

　　利用標準熱流傳感器的分辨率KR和輸出電勢E，就可以算出熱流密度q，于是也就能確定熱流傳感器的分辨率。

　　這種方法標定的準確度主要取決于標準熱流傳感器分辨率的準確度，此外還要受到設(shè)備中熱板和冷板的溫度控制精度的影響以及邊緣熱損失的影響，標定誤差可以達到5%左右。