微波等離子體

利用高頻電磁波使工作氣體電離擊穿而產(chǎn)生的等離子體。應(yīng)用于產(chǎn)生微波等離子體的頻率一般是0.915吉赫和2.45吉赫，其中2.45吉赫微波使用更為普遍。 ......（本文共 1201 字 ）     [閱讀本文] >>