硅酸鎵鑭晶體諧振器的高頻振動(dòng)分析
聲學(xué)技術(shù)
頁數(shù): 5 2023-12-15
摘要: 利用Mindlin板理論分析了硅酸鎵鑭晶體板強(qiáng)耦合的厚度剪切振動(dòng)和彎曲振動(dòng),獲得了硅酸鎵鑭晶體板高頻振動(dòng)的色散關(guān)系、頻譜關(guān)系和振動(dòng)模態(tài)位移圖。數(shù)值計(jì)算結(jié)果表明,Mindlin板理論可以獲得硅酸鎵鑭晶體板厚度剪切振動(dòng)的一階精確截止頻率,無需修正系數(shù)?;谑⒕w諧振器設(shè)計(jì)晶片最佳長(zhǎng)厚比的選取方法,確定了硅酸鎵鑭晶片的最佳尺寸,避免了厚度剪切振動(dòng)模態(tài)和彎曲振動(dòng)模態(tài)的強(qiáng)耦合。通過繪制... (共5頁)