FBAR濾波器TRL校準(zhǔn)的仿真與測試
中國測試
頁數(shù): 7 2023-04-27
摘要: 針對薄膜體聲波諧振腔(FBAR)濾波器測試夾具誤差校準(zhǔn),提出一種改進(jìn)的TRL校準(zhǔn)方法,將三維電磁仿真和TRL計(jì)算結(jié)合,用于測試套件(夾具和TRL校準(zhǔn)件)的前期設(shè)計(jì)與優(yōu)化,確保TRL校準(zhǔn)件達(dá)到足夠精度。由于DUT(device under test,待測器件)參數(shù)未知,實(shí)測中采用四種不同結(jié)構(gòu)的測試套件,校準(zhǔn)前各組測試結(jié)果差異較大,但TRL校準(zhǔn)后高度吻合,通帶內(nèi)的差異小于0.2 d... (共7頁)