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基于微區(qū)拉曼法的AlGaN/GaN HEMT溝道溫度測試研究

中國測試 頁數(shù)： 7 2024-03-26
摘要： 針對(duì)現(xiàn)有溫度測試技術(shù)難以滿足GaN器件壽命、可靠性以及熱管理控制對(duì)溝道溫度精確評(píng)估的需求，開展基于微區(qū)拉曼法測定AlGaN/GaN高電子遷移率晶體管(HEMT)的溝道溫度的研究。使用拉曼系統(tǒng)測量GaN材料的E2聲子頻率特征峰來確定溝道溫度。通過使用洛倫茲擬合方法，提高拉曼測試結(jié)果精度。對(duì)微區(qū)拉曼法和紅外熱成像法測量器件結(jié)溫進(jìn)行量化研究，器件的直流輸出功率密度分別為6、8、10... （共7頁）

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