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微型FBAR器件性能優(yōu)化設(shè)計(jì)

壓電與聲光 頁(yè)數(shù): 6 2024-02-20
摘要: 利用有限元仿真軟件建立了薄膜體聲波諧振器模型,研究了不同諧振面積(3 600~10 000μm~2)條件下,電極形狀(矩形、梯形、圓形和正五邊形)及變跡角(30°、36°、40°和45°)對(duì)寄生諧振的影響,得到史密斯阻抗曲線和不圓度值,討論了階梯負(fù)載結(jié)構(gòu)對(duì)橫向聲波泄露的抑制作用。仿真結(jié)果表明,電極形狀為非正五邊形,變跡角為40°時(shí),對(duì)寄生諧振的抑制效果最好;在諧振面積為3 60... (共6頁(yè))

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