低頻小型化蘭姆波諧振器的研究

摘要： 針對(duì)低頻聲學(xué)器件的小型化、大帶寬問(wèn)題，該文基于Y切-鈮酸鋰壓電薄膜激發(fā)了反對(duì)稱A0蘭姆波模式，并采用有限元法對(duì)A0模式進(jìn)行了結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與理論分析。研究了鈮酸鋰切型、電極材料、金屬化比及膜層厚度變化對(duì)聲速和機(jī)電耦合系數(shù)等性能的影響。結(jié)果表明，特定結(jié)構(gòu)下，與常規(guī)聲表面波相比，A0模式蘭姆波聲速較小，機(jī)電耦合系數(shù)較大，有利于低頻聲學(xué)濾波器小型化設(shè)計(jì)。通過(guò)研究不同結(jié)構(gòu)對(duì)諧振器A0模式蘭姆... （共6頁(yè)）