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基于蘭姆波壓電諧振器的高頻低相噪MEMS振蕩器仿真研究

壓電與聲光 頁(yè)數(shù): 6 2024-04-20
摘要: 發(fā)達(dá)的現(xiàn)代通信設(shè)備對(duì)時(shí)鐘源器件提出了更高的要求,在保障頻率信號(hào)穩(wěn)定的同時(shí)還需要器件具備可集成、微型化等特點(diǎn),微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)振蕩器因其具備這些優(yōu)勢(shì),已逐漸替代傳統(tǒng)振蕩器,成為電子設(shè)備中信號(hào)源的常用元器件。該文設(shè)計(jì)了一種MEMS振蕩器并對(duì)其進(jìn)行仿真測(cè)試,該振蕩器的核心選頻器件由Lamb波壓電諧振器組成,在應(yīng)用于振蕩電路前,對(duì)設(shè)計(jì)的MEMS諧振器進(jìn)行了仿真測(cè)試,并提出兩種優(yōu)化... (共6頁(yè))

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