基于液壓放大的壓電微動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)與試驗(yàn)

摘要： 針對(duì)傳統(tǒng)微動(dòng)平臺(tái)難以滿足微/納米定位的要求，該文結(jié)合液壓放大原理，提出一種基于液壓放大的兩自由度壓電微動(dòng)平臺(tái)，并對(duì)其進(jìn)行了結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。采用正交設(shè)計(jì)方法對(duì)其進(jìn)行有限元雙向流固耦合分析，優(yōu)化了其結(jié)構(gòu)參數(shù)。研制了實(shí)物樣機(jī)并進(jìn)行試驗(yàn)研究。開(kāi)環(huán)控制試驗(yàn)結(jié)果表明，當(dāng)壓電驅(qū)動(dòng)器輸入為90μm時(shí)，壓電微動(dòng)平臺(tái)最大輸出位移為603.0μm,放大倍數(shù)約為6.7;閉環(huán)控制試驗(yàn)結(jié)果表明，采用分段微分、積... （共7頁(yè)）