30%),其水平剪切(SH)聲學(xué)模式常被應(yīng)用于開發(fā)具有大機(jī)電耦合系數(shù)的薄膜聲學(xué)諧振器和超寬帶濾波器。但LN的頻率溫度系數(shù)較大(TCF>-50×10-6/℃),這不僅會降低濾波器的可用有效帶寬,同時也會限制器件的功率處理能力。采用3D周期有限元模型對基于X切LN/SiO2/Si結(jié)構(gòu)SH聲表面波(SH-SAW...">
海量資源,盡在掌握