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背腔刻蝕型橫向激勵薄膜體聲波諧振器制備技術(shù)研究

壓電與聲光 頁數(shù): 4 2024-06-20
摘要: 隨著移動通信技術(shù)的快速發(fā)展,薄膜體聲波濾波器逐漸向高頻和大帶寬方向發(fā)展。該文研究了POI(LiNbO3/SiO2/Si)基片上背腔刻蝕型橫向激勵薄膜體聲波諧振器制作工藝,通過研究POI基IDT光刻、背腔硅刻蝕等工藝,確定了IDT層曝光量和背腔刻蝕等關(guān)鍵工藝參數(shù)。研制出的背腔刻蝕型橫向激勵薄膜體聲波諧振器,其諧振頻率為4 565 MHz,反諧振頻率為5 035 MHz,機電耦... (共4頁)

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