一種高密度壓電變形鏡驅(qū)動(dòng)電源的設(shè)計(jì)

摘要： 壓電變形鏡是自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的執(zhí)行機(jī)構(gòu)。針對(duì)壓電變形鏡高精度、高動(dòng)態(tài)應(yīng)用的問題，設(shè)計(jì)了一款新型的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源，同時(shí)采取線性校正網(wǎng)絡(luò)確保了放大電路的穩(wěn)定性，并對(duì)影響輸出精確度及非線性失真的原因進(jìn)行了分析。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，當(dāng)驅(qū)動(dòng)容性負(fù)載為0.33μF時(shí)，該驅(qū)動(dòng)電源的大信號(hào)帶寬可達(dá)3 kHz,階躍響應(yīng)的上升時(shí)間優(yōu)于80μs,下降時(shí)間優(yōu)于130μs,輸出線性度為99.6%。 （共6頁）