一種擺式諧振加速度計的微杠桿結(jié)構(gòu)設(shè)計與分析

摘要： 為提升擺式諧振式加速度計性能，設(shè)計了一種將質(zhì)量塊與微杠桿結(jié)構(gòu)一體化的擺式微杠桿結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)慣性力的敏感與放大，提升結(jié)構(gòu)的魯棒性。首先建立了微杠桿結(jié)構(gòu)力學(xué)模型，并進行了關(guān)鍵參數(shù)計算。其次，根據(jù)微杠桿結(jié)構(gòu)放大倍數(shù)影響機理，分析了質(zhì)量塊、支撐梁及微杠桿結(jié)構(gòu)尺寸參數(shù)對放大倍數(shù)的影響；理論分析與有限元仿真結(jié)果均表明，支點梁與輸出梁的寬度應(yīng)作為該類微杠桿的關(guān)鍵優(yōu)化參數(shù)。最后，根據(jù)上述結(jié)論對現(xiàn)... （共10頁）