當(dāng)前位置:首頁(yè) > 科技文檔 > 無(wú)機(jī)化工 > 正文

硅片磨床伺服進(jìn)給系統(tǒng)仿真模型與分析

組合機(jī)床與自動(dòng)化加工技術(shù) 頁(yè)數(shù): 4 2024-04-19
摘要: 在硅片磨削時(shí),硅片加工質(zhì)量與硅片磨床的進(jìn)給系統(tǒng)性能密切相關(guān)。為了提升硅片磨床進(jìn)給系統(tǒng)的精度和穩(wěn)定性,提出了采用上位機(jī)、運(yùn)動(dòng)控制卡、伺服驅(qū)動(dòng)器、位置傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制進(jìn)給的技術(shù)方案。研究了伺服系統(tǒng)和機(jī)械系統(tǒng)兩者之間的相互耦合關(guān)系,建立了動(dòng)力學(xué)模型,搭建了基于PID控制的三閉環(huán)控制系統(tǒng),采用MATLAB中Simulink模塊對(duì)進(jìn)給系統(tǒng)進(jìn)行仿真分析。仿真結(jié)果表明,磨床進(jìn)給系統(tǒng)速度波動(dòng)... (共4頁(yè))

開(kāi)通會(huì)員,享受整站包年服務(wù)立即開(kāi)通 >
科技文檔
數(shù)學(xué) 力學(xué) 化學(xué) 金融 證券 保險(xiǎn) 投資 會(huì)計(jì) 審計(jì) 園藝 林業(yè) 旅游 體育 物理學(xué) 生物學(xué) 天文學(xué) 氣象學(xué) 海洋學(xué) 地質(zhì)學(xué) 新能源 金屬學(xué) 農(nóng)藝學(xué) 農(nóng)作物 管理學(xué) 領(lǐng)導(dǎo)學(xué) 自然科學(xué) 系統(tǒng)科學(xué) 資源科學(xué) 無(wú)機(jī)化工 有機(jī)化工 燃料化工 化學(xué)工業(yè) 材料科學(xué) 礦業(yè)工程 冶金工業(yè) 安全科學(xué) 環(huán)境科學(xué) 工業(yè)通用 機(jī)械工業(yè) 無(wú)線(xiàn)電子 電信技術(shù) 鐵路運(yùn)輸 汽車(chē)工業(yè) 船舶工業(yè) 動(dòng)力工程 電力工業(yè) 農(nóng)業(yè)科學(xué) 農(nóng)業(yè)工程 植物保護(hù) 動(dòng)物醫(yī)學(xué) 教育理論 學(xué)前教育 初等教育 中等教育 高等教育 職業(yè)教育 成人教育 自然地理 地球物理 經(jīng)濟(jì)統(tǒng)計(jì) 農(nóng)業(yè)經(jīng)濟(jì) 工業(yè)經(jīng)濟(jì) 交通經(jīng)濟(jì) 企業(yè)經(jīng)濟(jì) 文化經(jīng)濟(jì) 信息經(jīng)濟(jì) 貿(mào)易經(jīng)濟(jì) 財(cái)政稅收 市場(chǎng)研究 科學(xué)研究 互聯(lián)網(wǎng) 自動(dòng)化 輕工業(yè) 核科學(xué) 服務(wù)業(yè) 石油然氣 服務(wù)業(yè) 野生動(dòng)物 水產(chǎn)漁業(yè) 硬件 儀器儀表 航空航天 武器軍事 公路運(yùn)輸 水利水電 建筑科學(xué) 軟件