考慮晶圓駐留時間約束的雙臂組合設備群調(diào)度

摘要： 組合設備群代表了當前晶圓制造裝備發(fā)展的新趨勢，其調(diào)度控制水平直接攸關半導體芯片制造企業(yè)的整體經(jīng)濟效益。針對半導體芯片制造中考慮晶圓駐留時間約束的雙臂組合設備群，文章提出了一種基于特征轉換的調(diào)度控制方法。首先，引入一種概念型晶圓制造系統(tǒng)，即特征雙臂組合設備，并給出相應的穩(wěn)態(tài)調(diào)度方法。其次，采用特征轉換方法，將線性/樹形結構的雙臂組合設備群轉換為特征雙臂組合設備。隨后，根據(jù)轉換后的... （共8頁）