熔融溫度對DLC薄膜雜化狀態(tài)影響的分子動力學研究
真空科學與技術學報
頁數(shù): 6 2024-01-31
摘要: 文章基于Tersoff勢函數(shù),采用分子動力學方法建立金剛石的分子模型,分析了不同熔融溫度和冷卻過程對原子鍵合結構,徑向分布函數(shù)曲線和配位數(shù)的影響,從原子尺度闡明了DLC薄膜制備過程中原子形態(tài)雜化的形成機理。研究發(fā)現(xiàn):DLC薄膜主要由C-sp~3和C-sp~2雜化相組成,當溫度低于6000 K時,熔融和冷卻基本不會使C-sp~3雜化發(fā)生結構轉變,薄膜的性能比較穩(wěn)定。當溫度高于70... (共6頁)