自支撐BaTiO₃薄膜的制備與鐵電性研究

摘要： BaTiO₃(BTO)鐵電氧化物薄膜因其在非易失信息存儲、智能傳感、生物醫(yī)療、納米發(fā)電機等領(lǐng)域潛在的應(yīng)用而受到了人們的廣泛關(guān)注。目前，為了保證BTO薄膜能高質(zhì)量外延生長，通常選擇晶格匹配的氧化物做襯底，所生長的薄膜與襯底之間存在較強的化學(xué)鍵，很難將其從襯底上大面積地剝離下來，所以也無法實現(xiàn)下一步轉(zhuǎn)移到可用于高密度器件集成的的Si基襯底上。文章使用水溶Sr₃Al₂O₆(S... （共7頁）