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1064 nm激光入射角度對(duì)HfO2薄膜材料損傷特性的影響研究

真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào) 頁(yè)數(shù)： 11 2024-04-19
摘要： 脈沖激光參數(shù)及其與物質(zhì)作用方式，對(duì)薄膜材料的損傷過(guò)程與損傷識(shí)別至關(guān)重要。以單層HfO2薄膜為對(duì)象，研究了改變波長(zhǎng)為1064 nm、脈寬為10 ns的脈沖激光入射角度對(duì)薄膜材料損傷特性的影響。利用COMSOL對(duì)激光以不同入射角度作用于薄膜時(shí)的溫度場(chǎng)變化，以及薄膜表面光斑形狀的變化進(jìn)行了仿真。以1-on-1測(cè)量方式，選擇入射角度分別為0°、30°、45°、60°對(duì)樣品進(jìn)行測(cè)試，獲... （共11頁(yè)）

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