電弧離子鍍TiN/ZrN多層膜力學(xué)性能研究

摘要： 采用電弧離子鍍制備了調(diào)制比和總厚度一定，周期數(shù)不同的一系列TiN/ZrN多層膜，研究了周期數(shù)對多層膜力學(xué)性能的影響。使用X射線衍射儀、掃描電子顯微鏡分析了多層膜的結(jié)構(gòu)形貌，利用顯微硬度計、往復(fù)摩擦試驗機和多功能材料表面性能試驗儀測試了薄膜的力學(xué)性能和摩擦學(xué)性能。結(jié)果表明，多層膜都呈現(xiàn)單一的面心立方結(jié)構(gòu)，以柱狀晶結(jié)構(gòu)生長，表面致密光滑，界面效應(yīng)明顯，力學(xué)性能受到界面結(jié)構(gòu)和擇優(yōu)取向... （共6頁）