電鍍金剛線硅片切割廢料雜質(zhì)溯源及源頭控制

摘要： 隨著中國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，單晶硅片需求和產(chǎn)量逐年增加，金剛線硅片切割廢料產(chǎn)量隨之急劇增加，不僅導(dǎo)致高純硅資源浪費(fèi)，還造成嚴(yán)重生態(tài)環(huán)境問題。硅片切割過程中35%～40%的99.9999%的高純硅（6N級(jí)）生成亞微米硅粉損失，且隨著細(xì)線化、薄片化等金剛線硅片切割工藝的進(jìn)步，廢料雜質(zhì)來源變得復(fù)雜和多樣，增加提純回收增值利用難度。為了降低回收難度，科學(xué)合理制定回收工藝路線、研發(fā)高效清潔... （共8頁(yè)）