同步環(huán)帶子孔徑干涉非球面檢測方法

摘要： 提出一種可用于非球面面形檢測的同步環(huán)帶子孔徑干涉（SASI）檢測方法。該方法利用雙焦點透鏡形成兩個測量波前來匹配非球面不同子孔徑區(qū)域，進(jìn)而實現(xiàn)非球面的同步環(huán)帶子孔徑干涉測量。分析SASI檢測非球面面形的原理，確定雙焦點透鏡的焦點間距選取原則，建立子孔徑的基準(zhǔn)統(tǒng)一模型，通過光學(xué)追跡軟件輔助建模和坐標(biāo)變換實現(xiàn)子孔徑基準(zhǔn)統(tǒng)一與非球面面形重構(gòu)。結(jié)合實例對一個口徑為90 mm、頂點曲率半... （共9頁）