薄膜鈮酸鋰多尖端端面耦合結構

摘要： 為提升薄膜鈮酸鋰芯片端面耦合的效率和穩(wěn)定性，結合鈮酸鋰材料的刻蝕特點和工藝條件，設計并研究雙層多尖端逆錐形的耦合結構。通過仿真計算、參數掃描和對比分析，探究雙尖端和三尖端逆錐形耦合結構的特性及其參數選取方案。多尖端設計可擴大端面處的模場，從而降低對加工精度的要求。在側壁傾角62°和最小寬度150 nm的工藝條件下，理想的雙尖端和三尖端結構分別在1550 nm波長處實現(xiàn)0.47 ... （共8頁）