基于等效元件和相位補償法的雙倍分辨率波片測量

摘要： 提出了一種基于等效元件和相位補償法的高精度任意波片相位延遲量和方位角同時測量的方法。在測量光路中的待測波片之前插入一個可旋轉(zhuǎn)半波片，利用反射鏡使測量光兩次過該半波片和待測波片，相當于測量一個相位延遲量為待測波片兩倍的等效波片，可以實現(xiàn)雙倍分辨率檢測。采用雙頻激光源和相位檢測方式，旋轉(zhuǎn)半波片補償測量光相位，將測量光相對參考光的相位差變化先后調(diào)整為最大值和最小值，由二者之差即可得到... （共6頁）