當(dāng)前位置:首頁(yè) > 科技文檔 > 物理學(xué) > 正文

Ronchi剪切干涉儀高精度相位提取及誤差分析

中國(guó)激光 頁(yè)數(shù): 13 2024-03-15
摘要: 雙光柵Ronchi剪切干涉是一種基于瞳面測(cè)量的波像差檢測(cè)技術(shù),該技術(shù)具有無(wú)需參考面、共光路測(cè)量以及結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于集成等優(yōu)點(diǎn),適用于光刻投影物鏡波像差的在線檢測(cè)。相位提取是采用該技術(shù)進(jìn)行波像差檢測(cè)的重要步驟,直接影響最終的測(cè)量精度。針對(duì)雙光柵Ronchi剪切干涉儀高階衍射光影響相位提取精度的問(wèn)題,提出了一種高精度的相位提取算法,可消除剪切干涉場(chǎng)中±1級(jí)衍射光重疊區(qū)域內(nèi)高階衍射光的... (共13頁(yè))

開通會(huì)員,享受整站包年服務(wù)立即開通 >
科技文檔
數(shù)學(xué) 力學(xué) 化學(xué) 金融 證券 保險(xiǎn) 投資 會(huì)計(jì) 審計(jì) 園藝 林業(yè) 旅游 體育 物理學(xué) 生物學(xué) 天文學(xué) 氣象學(xué) 海洋學(xué) 地質(zhì)學(xué) 新能源 金屬學(xué) 農(nóng)藝學(xué) 農(nóng)作物 管理學(xué) 領(lǐng)導(dǎo)學(xué) 自然科學(xué) 系統(tǒng)科學(xué) 資源科學(xué) 無(wú)機(jī)化工 有機(jī)化工 燃料化工 化學(xué)工業(yè) 材料科學(xué) 礦業(yè)工程 冶金工業(yè) 安全科學(xué) 環(huán)境科學(xué) 工業(yè)通用 機(jī)械工業(yè) 無(wú)線電子 電信技術(shù) 鐵路運(yùn)輸 汽車工業(yè) 船舶工業(yè) 動(dòng)力工程 電力工業(yè) 農(nóng)業(yè)科學(xué) 農(nóng)業(yè)工程 植物保護(hù) 動(dòng)物醫(yī)學(xué) 教育理論 學(xué)前教育 初等教育 中等教育 高等教育 職業(yè)教育 成人教育 自然地理 地球物理 經(jīng)濟(jì)統(tǒng)計(jì) 農(nóng)業(yè)經(jīng)濟(jì) 工業(yè)經(jīng)濟(jì) 交通經(jīng)濟(jì) 企業(yè)經(jīng)濟(jì) 文化經(jīng)濟(jì) 信息經(jīng)濟(jì) 貿(mào)易經(jīng)濟(jì) 財(cái)政稅收 市場(chǎng)研究 科學(xué)研究 互聯(lián)網(wǎng) 自動(dòng)化 輕工業(yè) 核科學(xué) 服務(wù)業(yè) 石油然氣 服務(wù)業(yè) 野生動(dòng)物 水產(chǎn)漁業(yè) 硬件 儀器儀表 航空航天 武器軍事 公路運(yùn)輸 水利水電 建筑科學(xué) 軟件