基于PECVD技術(shù)的石墨烯可控制備與應(yīng)用:現(xiàn)狀與展望

摘要： 石墨烯因其優(yōu)異的物理/化學(xué)特性,在眾多領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景.為了推動石墨烯材料的實際應(yīng)用,需要尋找穩(wěn)定可靠、可擴(kuò)展和低成本的石墨烯材料制備方法.等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(plasma-enhanced chemical vapor deposition, PECVD)技術(shù)是一種借助外加能量輔助反應(yīng)前驅(qū)體裂解產(chǎn)生等離子體,進(jìn)而實現(xiàn)石墨烯制備的方法. PECVD技術(shù)在沿襲了傳統(tǒng)化... （共13頁）