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MOCVD生長ZnO薄膜的氣相寄生反應(yīng)路徑研究

人工晶體學(xué)報(bào) 頁數(shù)： 12 2024-08-01
摘要： 本文利用量子化學(xué)的密度泛函理論(DFT),研究了金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)生長ZnO薄膜過程中二乙基鋅(DEZn)與叔丁醇(t-BuOH)體系的氣相寄生反應(yīng)機(jī)理。通過計(jì)算不同溫度下反應(yīng)路徑的Gibbs自由能變化，從熱力學(xué)角度詳細(xì)分析關(guān)鍵中間產(chǎn)物(HOZnOBut、H(ZnO)2But、HZnOH)的水解及二聚物(Zn2O2H4、Zn2O4H4、Zn4... （共12頁）

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