原子制造過程的可視化與原位檢測

摘要： 原子制造是指將能量直接作用于原子，對原子進行精準(zhǔn)可控去除、增加等操作，從而調(diào)控材料結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的技術(shù)。為實現(xiàn)原子制造的精準(zhǔn)性和可控性，跨尺度的實時觀察與檢測勢在必行。原位透射電子顯微技術(shù)不僅能在原子尺度下實時研究納米材料結(jié)構(gòu)與性質(zhì)之間的關(guān)系，而且可以構(gòu)建原子級器件并實現(xiàn)其性能的原位檢測。簡要綜述了原位透射電子顯微技術(shù)在納米/原子精度的加工、器件構(gòu)建及原位檢測方面取得的重要進展，提... （共8頁）