基于硅基磚砌型亞波長光柵的緊湊型模式轉(zhuǎn)換器

摘要： 亞波長光柵可以等效為均勻介質(zhì),具備可控的雙折射、色散和各向異性等優(yōu)勢,有利于設(shè)計高性能的光子器件.盡管目前傳統(tǒng)的亞波長光柵結(jié)構(gòu)只需要單步刻蝕,然而通常需要100 nm及以下的制造分辨率,這對當(dāng)前主流的晶圓級硅光子芯片制造技術(shù)來說比較困難.亞波長光柵的各向異性可以通過引入磚砌型拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)來進一步設(shè)計,從而在設(shè)計中提供額外的自由度,同時還可以降低制造分辨率需求(> 100 nm).本... （共9頁）