線性調(diào)頻激光回饋粒度探測(cè)靈敏度提升方法

摘要： 激光回饋(或激光自混合干涉)技術(shù)在位移、距離、速度、振動(dòng)等傳統(tǒng)物理量測(cè)量領(lǐng)域具有廣泛的研究和應(yīng)用.近20年來(lái),這項(xiàng)技術(shù)在納米粒度檢測(cè)中也展示出了巨大的前景,其測(cè)量原理是:基于激光束與照射區(qū)域每個(gè)粒子相互作用的非相干疊加,粒子直徑可以通過(guò)激光回饋信號(hào)功率譜的洛倫茲擬合而求出.激光回饋粒度檢測(cè)一般使用恒流驅(qū)動(dòng)的半導(dǎo)體激光器,其信號(hào)功率譜峰會(huì)位于零頻附近,只呈現(xiàn)出右側(cè)部分,有些使用固... （共8頁(yè)）