Au修飾SnO2薄膜兼容型高響應(yīng)乙炔氣體傳感器研制
西安交通大學(xué)學(xué)報(bào)
頁(yè)數(shù): 10 2024-05-20
摘要: 為了實(shí)現(xiàn)變壓器油中溶解的乙炔氣體檢測(cè),研發(fā)了一款基于Au修飾SnO
2氣敏薄膜的乙炔氣體傳感器。通過(guò)射頻濺射制備SnO
2薄膜,進(jìn)而通過(guò)直流濺射制備Au并改變?yōu)R射時(shí)間,得到不同Au修飾量的氣敏薄膜,采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)工藝開(kāi)發(fā)了基于氣敏薄膜的乙炔氣體傳感芯片。對(duì)比純SnO
2以及不同Au修飾量的SnO
2氣敏薄膜的氣敏性能,結(jié)果顯示,基于20 s-Au修飾的SnO
2薄膜... (共10頁(yè))