單晶金剛石的動(dòng)態(tài)摩擦拋光
中國科學(xué)院大學(xué)學(xué)報(bào)(中英文)
頁數(shù)： 8 2024-09-15
摘要： 在眾多單晶金剛石拋光方法中，動(dòng)態(tài)摩擦拋光(DFP)因其具有極高的去除速率而受到廣泛關(guān)注。研究DFP過程中3種拋光參數(shù)(拋光載荷、拋光時(shí)間和拋光盤線速率)以及3種夾持方式(粘接式、鑲嵌式和卡鉗式)對(duì)單晶金剛石拋光效果的影響。結(jié)果表明：增大拋光載荷、拋光時(shí)間和拋光盤線速率，都會(huì)導(dǎo)致樣品的質(zhì)量損耗增加和表面粗糙度降低，并提升金剛石(400)面的衍射峰強(qiáng)度。在3種夾持方法中，粘接式夾持... （共8頁）
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