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投影微立體光刻技術(shù)在微流控芯片領(lǐng)域的研究進(jìn)展

微納電子技術(shù) 頁數(shù)： 12 2024-04-09
摘要： 對投影微立體光刻(PμSL)技術(shù)在微流控芯片領(lǐng)域的優(yōu)勢進(jìn)行了簡要概述，介紹了其技術(shù)原理以及數(shù)字微鏡設(shè)備(DMD)的工作機(jī)制。分析了影響PμSL技術(shù)提高XY平面和Z軸打印分辨率的因素，重點(diǎn)討論了通過優(yōu)化光學(xué)系統(tǒng)、樹脂配方、打印方式及圖像算法等途徑以提高單步制作微流控封閉管道Z軸分辨率的技術(shù)方法，并介紹了PμSL技術(shù)在多材料打印領(lǐng)域的研究進(jìn)展。此外，對近年來國內(nèi)外利用PμSL技術(shù)制... （共12頁）

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