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高精度磁柵式隧道磁阻微位移傳感器

微納電子技術(shù) 頁數(shù)： 7 2024-04-12
摘要： 利用隧道磁阻(TMR)效應(yīng)設(shè)計(jì)了一種結(jié)構(gòu)相對簡單的磁柵式高精度微位移傳感器。首先，介紹了磁柵式隧道磁阻位移傳感器檢測原理，憑借隧道磁阻傳感器高靈敏度的特點(diǎn)檢測磁柵敏感軸上方的空間磁場，接著利用COMSOL有限元仿真軟件對磁柵結(jié)構(gòu)進(jìn)行仿真設(shè)計(jì)，驗(yàn)證了磁柵的磁場分布特性。通過搭建四橋路檢測電路能夠使TMR傳感器有效抑制外部磁場干擾以及溫度對TMR傳感器的影響；得益于90°移相電路模... （共7頁）

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