一種基于S型電磁超材料的高溫溫度傳感器設(shè)計(jì)

摘要： 針對(duì)目前超材料溫度傳感器存在的量程小且靈敏度較低的問(wèn)題，設(shè)計(jì)了一種碳氮化硅基的S型超材料的高溫傳感器。通過(guò)CST電磁仿真軟件對(duì)超材料溫度傳感器進(jìn)行模擬仿真，在其他結(jié)構(gòu)參數(shù)一定的情況下，對(duì)金屬條的長(zhǎng)度、寬度、厚度、條間隙及基板厚度等參數(shù)進(jìn)行了設(shè)計(jì)與優(yōu)化，確定了傳感器結(jié)構(gòu)的最佳尺寸，同時(shí)分析了傳感器的諧振頻率對(duì)溫度的影響。結(jié)果表明，在28℃～1 000℃下平均靈敏度可達(dá)5.674 ... （共7頁(yè)）