多通道雙晶單色器平行度測量與運動軌跡規(guī)劃
光學精密工程
頁數(shù): 13 2024-08-10
摘要: 針對雙轉輪多通道雙晶單色器的平行度誤差補償問題,提出一種基于光電自準直儀的多通道雙晶單色器準靜態(tài)雙晶衍射面平行度測量方法以及一種S形曲線軌跡規(guī)劃方法。分析多通道單色器的結構及運動特點,基于光電自準直儀提出多通道雙晶單色器平行度測量系統(tǒng)的總體框架及測量具體流程。結合多通道雙晶單色器運動特點,提出一種S形曲線軌跡規(guī)劃方法,并基于平行度測量結果對單色器運動軌跡進行優(yōu)化設計。最后,在搭... (共13頁)