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雙面研磨技術研究現狀與發(fā)展趨勢

機械工程學報 頁數: 23 2024-01-19
摘要: 近年來,隨著半導體、光學制造等領域的飛速發(fā)展,對晶圓、光學窗口及密封環(huán)等薄平板件的需求越來越大,加工質量要求越來越高。雙面研磨具有加工應力小、效率高等優(yōu)點,被廣泛用于薄平板件的加工。為梳理雙面研磨技術發(fā)展現狀,重點綜述了雙面研磨的機理、工藝、應用及裝備的最新研究進展;分析了雙面研磨理論模型對工藝的優(yōu)化效果,總結了雙面研磨工藝的應用現狀。此外,全面比較了行業(yè)內代表性廠家雙面研磨裝... (共23頁)

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