饋通效應下微機械陀螺儀標度因數(shù)特性分析

摘要： 微機械陀螺儀可動質(zhì)量塊、襯底和電極間存在復雜的寄生電容，使得陀螺儀的反饋力電極與檢測讀出電極間存在饋通效應。為研究饋通效應對微機械陀螺儀標度因數(shù)特性的影響，首先基于理論模型分析了不同模態(tài)頻差下，饋通效應對檢測回路開環(huán)零點分布的影響，進而分析了存在饋通時模態(tài)頻差對標度因數(shù)的影響。其次，建立了存在饋通時的力反饋仿真模型。最后設計了基于分時控制的饋通抑制方案，實驗結(jié)果顯示，無饋通抑制... （共6頁）