基于像散面約束的鏡片柔性支撐結構優(yōu)化設計方法

摘要： 為提高高精度光機系統(tǒng)中光學元件支撐后的面形精度，在考慮沖擊、振動、壓力及溫度等因素的影響下，設計了一種整體式多彈片定位的光學鏡片支撐結構。在靜力學條件下，通過有限元分析法計算整體結構的固有頻率及支撐結構對鏡片面形的影響，一階固有頻率達到366.13 Hz，鏡片面形峰谷值為13.923 nm，均方根值為2.499 nm。基于像散面約束的條件，分析了支撐結構的變形對鏡片面形的劣化程... （共12頁）