一種基于柱面鏡聚焦系統(tǒng)的高靈敏度全譜光譜儀

摘要： 很多元素的最靈敏譜線主要分布在紫外波段。一些常被作為檢測對象的重要元素，例如C、 P和S,其譜線甚至位于200 nm以下的真空紫外波段。然而真空紫外波段內(nèi)的輻射極易受空氣吸收而無法在空氣中傳輸。因此為了適用于紫外波段各譜線的檢測，常使用光程短、系統(tǒng)精簡的羅蘭圓光學(xué)系統(tǒng)作為光譜儀的色散系統(tǒng)，并且在進行檢測分析時，還需對設(shè)備腔體內(nèi)部建立相對真空的環(huán)境進行實驗，進而減小實驗環(huán)境對真空... （共9頁）