基于自適應(yīng)有限時間控制策略的高分辨率顯微鏡運動控制

摘要： 針對大數(shù)值孔徑顯微成像技術(shù)對物鏡位移臺提出的長行程、高精度和大負(fù)載的要求，提出了一種非線性魯棒運動控制策略以實現(xiàn)物鏡位移臺的精密運動。設(shè)計了大數(shù)值孔徑顯微鏡的光路系統(tǒng)、虛擬樣機(jī)以及由滾珠絲杠驅(qū)動的物鏡位移臺，采用雙螺母預(yù)緊的方式消除滾珠絲杠傳動間隙。將自適應(yīng)技術(shù)引入非奇異終端滑?？刂疲瑢崿F(xiàn)系統(tǒng)狀態(tài)的有限時間收斂，提高系統(tǒng)魯棒性。針對滾珠絲杠傳動機(jī)構(gòu)內(nèi)部的非線性摩擦效應(yīng)，采用時延... （共10頁）