石英單晶微機械陀螺儀研究進展

摘要： 對Z切、ST切、AT切三種切割方式的石英單晶微機械陀螺儀的基本工作原理進行了闡述，梳理了不同類型陀螺儀的發(fā)展歷程，重點介紹了三種石英單晶微機械陀螺儀的設計結構、性能特點及其應用場景，并從靈敏度、動態(tài)范圍、穩(wěn)定性、抗沖擊性及工作頻率等方面對三種類型石英微機械陀螺儀各自的性能優(yōu)勢與面臨的技術挑戰(zhàn)進行了評述，總結了當前國內外在石英單晶微機械陀螺儀研究領域的主要進展和創(chuàng)新點。最后，針對... （共14頁）