微織構(gòu)固結(jié)磨料拋光輪無水拋光熔融石英光學(xué)元件技術(shù)研究

摘要： 拋光是精密光學(xué)元件制造的最后一道冷加工工序，當(dāng)前采用的游離磨料拋光技術(shù)蘊(yùn)含的不可控因素較多，且會(huì)在元件表面產(chǎn)生水合層并存在磨料浪費(fèi)等問題。為了實(shí)現(xiàn)可控綠色拋光并確保光學(xué)元件達(dá)到所需的表面質(zhì)量要求，固結(jié)磨料無水拋光技術(shù)以其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)開始得到推廣。然而，固結(jié)磨料拋光輪在加工時(shí)磨損劇烈，耐用性和散熱性有所欠缺。因此，在拋光輪上構(gòu)建螺旋形微織構(gòu)圖案，以壓力、轉(zhuǎn)速比、微織構(gòu)紋理的曲率和條... （共6頁）