真空納米二極管和三極管綜述

摘要： 真空納米二極管和真空納米三極管具有與傳統(tǒng)真空管相似的基本功能，但卻可以通過現(xiàn)有先進的微加工工藝線制造，以實現(xiàn)尺寸小、重量輕和高度集成，這使得它們在最近十年發(fā)展迅速。綜述了真空納米二極管和三極管的起源、發(fā)展歷史和最新技術(shù)狀態(tài)。介紹了典型的橫向結(jié)構(gòu)、垂直結(jié)構(gòu)和環(huán)柵結(jié)構(gòu)器件，并分析了各自優(yōu)缺點。硅基器件對于成熟微加工工藝兼容性最好，但基于金屬和一些寬帶隙半導體材料，如碳化硅和氮化鎵的... （共10頁）