不銹鋼管道的比放氣率研究

摘要： 不銹鋼管道的比放氣率是超高真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)的關(guān)鍵參數(shù)，降低比放氣率是提高真空度的有效方法之一。在西安200 MeV質(zhì)子應(yīng)用裝置（XiPAF）的重離子升級(jí)工程中，重離子同步環(huán)真空管道內(nèi)要求達(dá)到超高真空度（10-10 Pa量級(jí)），要求不銹鋼管道的比放氣率不超過(guò)1.5×10^-13 Pa·m~3/(s·cm~2)。文章通過(guò)研究降低不銹鋼管道比放氣率的方法，得到一套不銹鋼管道處理方案，... （共8頁(yè)）