基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的渦輪分子泵性能預(yù)測

摘要： 渦輪分子泵作為維持潔凈高真空環(huán)境的關(guān)鍵設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、空間模擬等諸多領(lǐng)域。然而，準(zhǔn)確高效預(yù)測渦輪分子泵性能一直是亟待解決的難題，現(xiàn)有方法往往因模型缺乏通用性和計算效率不足而難以令人滿意。文章聚焦于開發(fā)一種基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型的渦輪分子泵抽氣性能預(yù)測方法，旨在攻克上述挑戰(zhàn)。提出了一種神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型，該模型能夠有效學(xué)習(xí)和模擬渦輪分子泵的復(fù)雜動態(tài)行為。模型訓(xùn)練數(shù)據(jù)涵蓋數(shù)值模擬結(jié)... （共8頁）