基于靜電力的非接觸式微懸臂梁剛度標(biāo)定方法

摘要： 微懸臂梁剛度的標(biāo)定在工業(yè)和學(xué)術(shù)研究中有重要的意義。傳統(tǒng)微懸臂梁標(biāo)定方法存在粘附摩擦、接觸磨損等缺點(diǎn)。為了有效解決傳統(tǒng)剛度標(biāo)定中接觸摩擦的難題，本文提出一種基于靜電力的非接觸式微懸臂梁剛度標(biāo)定方法。該方法將靜電力作為標(biāo)準(zhǔn)載荷施加于微懸臂梁末端，基于胡克定律計(jì)算微懸臂梁剛度。對(duì)平行極板結(jié)構(gòu)進(jìn)行了數(shù)值模擬，結(jié)果顯示微懸臂梁與參考極板的相對(duì)位置存在較小的偏差時(shí)，靜電力偏差小于5%。靜電... （共10頁(yè)）