雙面鍍膜法制備高面形精度濾光片

摘要： 對雙面鍍膜法制備高面形精度濾光器件進行研究，通過在一面沉積帶通濾光膜，另外一面沉積應力/形變匹配膜層的方式，制備了外徑Φ25 mm，徑厚比為10∶1的HWB900基底高面形精度帶通濾光膜。測試結(jié)果顯示：在通帶1 215 nm～1 265 nm波段的平均透過率■≥92%，截止帶900 nm～1 135 nm、1 345 nm～1 700 nm內(nèi)透過率■<1%，鍍膜后零件2個表面的... （共7頁）