基于壓電超聲換能器的被動聲學發(fā)展及應用綜述

摘要： 深入探討了微電子機械系統(tǒng)(MEMS)在被動聲學領域的應用，特別關注了壓電效應、常用壓電材料和傳感結構設計三方面。闡述了壓電效應的基本概念，介紹了石英、PZT(鋯鈦酸鉛)和ZnO(氧化鋅)等主要的壓電材料，這些材料因其出色的壓電特性而被廣泛用于MEMS技術。同時詳細分析了懸臂梁、薄膜等傳感結構，這些結構能夠高效地將聲波能量轉換為電信號。特別介紹了MEMS麥克風、MEMS水聽器和M... （共18頁）