寬帶溫度補償型聲表面波濾波器的設(shè)計與優(yōu)化

摘要： 提出了一種寬帶溫度補償型聲表面波濾波器的設(shè)計方法。通過研究鈮酸鋰襯底不同歐拉角、不同電極材料和厚度對聲表面波諧振器頻率響應(yīng)和雜散抑制的影響，確定了寬帶溫度補償型聲表面波濾波器的最佳切向和電極結(jié)構(gòu)。所制備的寬帶聲表面波濾波器的溫度系數(shù)優(yōu)于-18.9×10^-6/℃,-3 dB相對帶寬為7.84%,插入損耗為0.93 dB,展現(xiàn)出良好的帶外抑制。 （共5頁）